產品目錄
> 真空鍍膜系統 |PRODUCTS
| 自動化乾濕蝕刻系統 |
| 1．乾蝕刻 (無向量離子蝕刻) 2．濕蝕刻 (化學蝕刻) 3．超音波清洗 4．熱風乾燥 |
規格
1．APC 自動控壓系統
2．MFC 質量流量控制器
3．DC/RF 電源供應器
4．Ion Source 無向量離子源
5．靜電消除器
6．FFU HEPA 無塵風扇過濾組
2．MFC 質量流量控制器
3．DC/RF 電源供應器
4．Ion Source 無向量離子源
5．靜電消除器
6．FFU HEPA 無塵風扇過濾組