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真空熱處理系統 > 真空熱處理爐 |PRODUCTS
| 真空快速升溫系統 |
規格
1．加熱溫度：800℃
2．熱區大小：φ150*150mm
3．加熱方式：石英燈管
4．製程氣體：Ar、N2
5．洩漏率：5*10-3 Torr*l/sec
6．極限真空度：10-3 Torr
2．熱區大小：φ150*150mm
3．加熱方式：石英燈管
4．製程氣體：Ar、N2
5．洩漏率：5*10-3 Torr*l/sec
6．極限真空度：10-3 Torr