產品目錄
真空鍍膜系統 > 連續式鍍膜系統 |PRODUCTS
| 連續式電感偶合電漿系統 |
規格
1．極限真空度：10-7 Torr
2．質量流量控制器
3．DC/DC PULSE/HIPIMS/MF/RF/電源供應器
4．OES監測系統
5．高真空台車傳送系統
2．質量流量控制器
3．DC/DC PULSE/HIPIMS/MF/RF/電源供應器
4．OES監測系統
5．高真空台車傳送系統
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